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芯動未來 | 皖儀科技攜半導體行業三大解決方案亮相2025亞太國際半導體展覽會

2025-07-18

7月17日,2025亞太國際半導體技術暨應用展覽會在青島國際博覽中心盛大啟幕。作為亞太地區半導體產業年度技術盛會,本次展會聚焦“創新驅動·生態共贏”主題,設立材料設備、制造工藝、封裝測試、應用創新四大展區,吸引全球300余家頂尖企業參展,集中呈現半導體全產業鏈最新技術成果與解決方案。作為全球精密科學儀器專業供應商,皖儀科技攜全新半導體行業監測/檢測解決方案,精彩亮相大會。

硬核方案亮相,專業觀眾互動

深耕精密科學儀器研發制造22年,皖儀科技始終以技術創新為刃,致力于為半導體行業提供最全面最專業的監測/檢測解決方案。展會期間,皖儀科技展臺成為技術交流熱點,通過實物演示及解決方案展示,吸引了大量芯片制造、封測企業及研究機構等專業人士駐足交流。展會期間,同步舉行2025先進半導體技術與產業生態創新交流會,皖儀科技與大會深度合作,并展示AMC監測、一站式密封性檢測、實驗室分析儀器三大核心解決方案,憑借在半導體制造關鍵環節的創新應用,引發行業高度關注。

展會期間,多位行業專家蒞臨皖儀科技展位交流指導。其中,中國半導體行業協會執行秘書長王俊杰先生、中半協半導體支撐業分會秘書長石瑛女士深入展位,詳細了解了皖儀科技半導體行業解決方案,并對皖儀在半導體領域的創新應用表達了高度認可。此外,日本半導體制造裝置協會副事務局長佐藤富志夫先生也在創新交流會后與皖儀研發人員進行了深度交流。

 

 
 
 
 

01

AMC監測解決方案

 

在半導體生產環境中,有害氣體分子污染物(AMC)是威脅產品質量與生產安全的 “隱形殺手”。皖儀科技提供專業的AMC監測解決方案,實現對生產環境中亞納米至納米級AMC污染物的精準識別與實時監控,為潔凈室環境提供嚴格保障,從源頭守護制程穩定性與產品良率。

皖儀科技IC7000酸堿陰陽離子分析儀可以監測物質NO、CL、F-、SO2、NH*等陰陽離子,可用于監測刻蝕、清洗、濕法工藝等環節的污染。VM1750有機物分析儀是一款分析環境空氣中多組分VOCS的高精度儀器,可以監測116種揮發性有機物,檢出限≤0.1ppb,可用于監測光刻、清洗劑、外氣等環節的污染。

 
 
 
 
 

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一站式密封性檢測解決方案

 

針對半導體電子元器件/密封件檢漏,皖儀科技提供一站式密封性解決方案,該方案由壓氦罐、檢漏罐、氦質譜檢漏儀組成,支持真空噴氦法、吸槍法等多種檢測方式。在大型半導體生產中,氦質譜檢漏儀廣泛應用于各種工藝,如刻蝕、 CVD、PVD、 真空爐、離子注入等。它能在工藝維護后迅速確認工藝完整性 和漏孔修復部位,確保次級生產中的真空管線和泵、氣柜及復雜氣體 輸送管線以及生產設施和治理的安全高效。

SFJ-16D單泵氦質譜檢漏儀,采用了自有獨特的軟件算法和經客戶驗證的真空系統設計,可滿足嚴苛的泄露檢測。SFJ-16F雙泵氦質譜檢漏儀,采用雙分子泵組合技術,可在量程范圍內快速響應,并在極短的時間內完成從達到開檢條件到給出測試結果,獨特設計的真空系統可以持續較高的氮氣抽速和響應,滿足客戶需求。

 

 
 
 
 

03

實驗室分析儀器解決方案

 

在皖儀科技分析儀器產品可應用于半導體工藝流程中的多個環節。皖儀科技離子色譜儀可用于晶圓表面、濕電子化學品、光刻膠及配套試劑、電子特氣、潔凈空氣、封測、蝕刻劑等離子態雜質分析。皖儀科技氣相、液相色譜儀,氣質、液質聯用儀可用于晶圓表面有機污染物、濕電子化學品的有機污染物、光刻膠有機物分析/配方剖析、電鍍液添加劑分析、電子電器中有害有機物、超純水有機雜質等有機污染物/有機成分分析。

 

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賦能制造升級,共話行業未來

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當前,半導體產業向更高制程、更優性能邁進,卻面臨技術突破瓶頸與生態協同難題。皖儀科技深度融入產業生態,以專業監測/檢測解決方案,助力攻克“卡脖子” 技術難題。從守護生產環境,到保障產品質量,從支撐研發創新,到促進產業鏈協同,皖儀用技術力量,為半導體產業迭代升級添磚加瓦。未來,皖儀科技持續深耕,以更多硬核方案,為半導體產業高質量發展注入 “芯” 動能,攜手共創全球半導體產業更璀璨的未來!


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